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審定:無
翻譯:郭玉林(簡介並寄信)、程正喜(簡介並寄信)、呂尊實(簡介並寄信)、張燕均(簡介並寄信)
編輯:陳玉侖(簡介並寄信)


閱讀資料部分提供了下列作業中參考閱讀資料的全部出處。
The readings section provides full citations for the readings referenced within the assignments below.


作業 答案
問題集1:真空系統,化學氣相沉積(CVD)
Problem Set 1: Vacuum System, CVD (PDF)
(PDF)
問題集2:化學氣相沉積(CVD),氧化
Problem Set 2: CVD, Oxidation (PDF)
(PDF)
問題集3:擴散,佈植
Problem Set 3: Diffusion, Implantation (PDF)
(PDF)
問題集4:光刻
Problem Set 4: Lithography (PDF)
(PDF)
問題集5:蝕刻
Problem Set 5: Etching (PDF)
(PDF)
問題集6:濺射,蒸發,互連
Problem Set 6: Sputtering, Evaporation, Interconnect (PDF)
(PDF)


 
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