MIT OpenCourseWare


» 進階搜尋
 課程首頁
 教學大綱
 教學時程
 相關閱讀資料
 課堂講稿
 實作課程
 作業
 測驗

課堂講稿


本頁翻譯進度

燈號說明

審定:無
翻譯:郭玉林(簡介並寄信)、程正喜(簡介並寄信)、呂尊實(簡介並寄信)、張燕均(簡介並寄信)
編輯:陳玉侖(簡介並寄信)


每節課的講師按以下代號標示如下:
The instructor for each lecture is provided below according to the following key:


MAS = Martin Schmidt
RCOH = Robert O' Handley
SR = Susan Ruff


課程單元
1 總覽/安全性/實驗作業(MAS)(PDF)
Overview/Safety/Lab Assignment (MAS) (PDF)
2 積體電路(IC)實驗:總覽(MAS)(PDF)
IC Lab: Overview (MAS) (PDF)
主修課程中溝通密集課程的介紹(本科院系的要求)
Introduction to Communication Intensive subject in the Major (undergraduate institute requirement) (SR)
3 真空系統 (RCOH) (PDF)
Vacuum System (RCOH) (PDF)
4 化學氣相沉積(CVD) (RCOH)(PDF)
CVD (RCOH) (PDF)
5 氧化 (RCOH)(PDF)
Oxidation (RCOH) (PDF)
6 積體電路(IC) 實驗:測試 (MAS)(PDF)
IC Lab: Testing (MAS) (PDF)
撰寫技術報告(SR),由Thea Singer提供(PDF)
Writing Technical Reports (SR) (PDF) Courtesy of Thea Singer.
7 擴散 (RCOH)(PDF)
Diffusion (RCOH) (PDF)
8 擴散/佈植 (RCOH)(PDF)
Diffusion/Implantation (RCOH) (PDF)
9 微機電系統(MEMS)實驗:總覽 (MAS)
MEMS Lab: Overview (MAS)
10 光刻(微影術) (MAS)(PDF - 1.6 MB)
Lithography (MAS) (PDF - 1.6 MB)
11 光刻,軟蝕刻微影 (MAS)
Lithography, Soft Lithography (MAS)
12 微機電系統(MEMS)實驗:測試 (MAS)(PDF)
MEMS Lab: Testing (MAS) (PDF)
13 測驗1 (包括光刻中的課題) (教師)
Quiz#1 (includes topics through Lithography) (Staff)
14 蝕刻 (濕法) (MAS)
Etching (wet) (MAS)
微機電系統(MEMS)報告指導(SR)
Guidance for MEMS Report (SR)
15 蝕刻 (乾法) (MAS)
Etching (dry) (MAS)
16 流體學實驗:總覽 (MAS) (PDF - 1.1 MB) (PDF - 1.1 MB)
Fluids Lab: Overview (MAS) (PDF - 1.1 MB) Courtesy of Dr. Hang Lu.
17 濺射 (RCOH) (PDF)
Sputtering (RCOH) (PDF)
18 蒸發 (RCOH)(PDF - 1.4 MB)
Evaporation (RCOH) (PDF - 1.4 MB)
對微機電系統(MEMS)報告的回饋 (SR)
Feedback on MEMS Report (SR)
19 互連 (RCOH)(PDF)
Interconnect (RCOH) (PDF)
20 先進的矽元件 (MAS)
Advanced Si Devices (MAS)
21 晶體生長 (RCOH) (PDF)
Crystal Growth (RCOH) (PDF)
22 可靠性 (RCOH)(PDF)
Reliability (RCOH) (PDF)
23 流體學實驗:測試 (MAS)(PDF - 1.0 MB)
Fluids Lab: Testing (MAS) (PDF - 1.0 MB)
24 測驗2 (包括的內容從軟蝕刻微影到可靠性) (教師)
Quiz#2 (includes topics from Soft Lithography through Reliability) (Staff)
25 專題:奈米生物學(PDF- 2.5 MB)
Special Topic: Nanobiology (PDF- 2.5 MB)
26 專題:奈米生物學 (客座嘉賓) 奈米微影 (RCOH)
Special Topic: Nanobiology (Guest) Nanolithography (RCOH)

 
MIT Home
Massachusetts Institute of Technology Terms of Use Privacy