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編輯:陳玉侖(簡介並寄信)


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Textbooks

推薦
Recommended

Plummer, J., M. Deal, P. Griffin. 《矽超大型積體電路技術》. Prentice Hall, 2000.
Plummer, J., M. Deal, P. Griffin. Silicon VLSI Technology. Prentice Hall, 2000.

附加參考書目
Additional References

Campbell, S. A. 《微電子製程的科學和工程》. Oxford University Press, 1996.
Campbell, S. A. The Science and Engineering of Microelectronics Fabrication. Oxford University Press, 1996.

Wolf, S.和R. Tauber.《超大型積體電路時代的矽處理》. Lattice Press, 1986.
Wolf, S., and R. Tauber. Silicon Processing for the VLSI Era. Lattice Press, 1986.

Sze, S. M. 《超大型積體電路技術》. McGraw-Hill, 1983.
Sze, S. M. VLSI Technology. McGraw-Hill, 1983.

Ghandi, S. K.《超大型積體電路之製程原理》. Wiley, 1983.
Ghandi, S. K. VLSI Fabrication Principles. Wiley, 1983.

Pierret/Neudeck.《固態元件的模系列》. Addison-Wesley, 1984.
Pierret/Neudeck. Modular Series on Solid State Devices. Addison-Wesley, 1984.

Grove.《半導體元件的物理學和技術》. Wiley, 1977.
Grove. Physics and Technology of Semiconductor Devices. Wiley, 1977.

Colclasser. 《微電子製程和元件設計》. Wiley, 1980.
Colclasser. Microelectronics Processing and Device Design. Wiley, 1980.

Vossen, J. L.和W. Kern. 《薄膜製程》. Academic Press, 1978.
Vossen, J. L., and W. Kern. Thin Film Processes. Academic Press, 1978.

Mayer, J. W.和S. S. Lau.《電子材料科學:Si和GaAs中的積體電路》. Macmillan, 1990.
Mayer, J. W., and S. S. Lau. Electronic Materials Science: For Integrated Circuits in Si and GaAs. Macmillan, 1990.

Murarka, S.和M. Peckerar.《電子材料學和技術》. Academic, 1989.
Murarka, S., and M. Peckerar. Electronic Materials Science and Technology. Academic, 1989.

Ohring, M. 《薄膜的材料學》. Academic Press, 1992.
Ohring, M. The Materials Science of Thin Films. Academic Press, 1992.

Senturia, S.《微系統設計》. Kluwer, 2001.
Senturia, S. Microsystem Design. Kluwer, 2001.

Madou, M. 《微製程原理》. CRC Press, 2002.
Madou, M. Fundamentals of Microfabrication. CRC Press, 2002.

Kovacs, G. T. A. 《微機械傳感器的資料集》. McGraw-Hill, 1998.
Kovacs, G. T. A. Micromachined Transducers Sourcebook. McGraw-Hill, 1998.

Maluf, N.《微機電系統工程概論》 . Artech, 2000.
Maluf, N. An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering. Artech, 2000.


其他資源
Other Resources

報告
Presentations

《英代爾的90奈米技術:摩爾定律及其他》,Mark Boh著
Intel's 90 nm Technology: Moore's Law and More, by Mark Boh

《不是永遠的冪指數》,Gordon Moore著
No Exponential is Forever, by Gordon Moore


 
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